光學膜厚儀的校準：
1、零位校準，將測頭垂直快速壓在空基體上不放開，再按住校零鍵ZERO鍵，此時會有蜂鳴聲，待顯示屏上顯示CAL后，再提起測頭，校零成功；再將儀器拿去測試工件即可。
（如校零時沒將測頭壓在空基體上，那么零位校準失敗，將法測試，須正確校零后儀器才能正常使用）。
2、兩點校準
步驟：先校準零位。
步驟：校好零位后，根據要測量的涂層厚度，選擇一片比較接近工件厚度值的膜片，把膜片放在空基體上，把測頭垂直快速壓下去測量，如果測出來的值與膜片有小誤差，提起測頭后可以通過+－按鍵來修正。
［備注：因為廠家提供的基體（即鐵板或鋁板）的材料可能現用戶工件的基體不*相同，即零位不同，因此想要測量結果更時，建議用戶找一塊與被測工件材質相同的基體（沒有涂鍍層的底材）做零位校準后，再測量。］
光學膜厚儀的使用注意事項：
1、使用和檢定前，請校對零位。
2、電子數顯部件，須防止油、水或其它液體浸入。
3、測微螺桿和量面必須經常清潔，使用后可涂層防銹油。
4、數顯薄膜測厚儀是精密量具，應防止撞擊，以免影響準確度。
5、微分筒移動距離應在刻度套管的刻線范圍內，超出刻線。
6、薄膜測厚儀長期不使用時，應取出電池。
光學膜厚儀的維護保養，除了避免機械撞擊、誤操作和保持儀器外表的清潔之外，主要是金屬裸露表面的防銹和光學系統的光學元件的防霉、防霧維護。
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